扩散泵有几个型号

扩散泵是一种常见的真空泵，可用于实验室、制造业、半导体制造等领域。根据其功能和特点，扩散泵可以分为几种不同的型号。

首先，最常见的扩散泵是油扩散泵。这种泵使用油蒸汽作为工作流体，将气体分子扩散到高真空区域。油扩散泵的优点是结构简单、使用寿命长、能够提供较高的真空度，因此广泛应用于各种工业领域。

其次，还有无油扩散泵。这种泵使用液氮或者干燥气体作为工作流体，可以在不使用油的情况下提供较高的真空度。由于无油扩散泵不会产生油蒸汽，因此对于某些对油敏感的应用场合，如半导体制造，无油扩散泵是更加适合的选择。

除了油扩散泵和无油扩散泵之外，还有一些特殊的扩散泵。例如，气体扩散泵是一种使用气体流体的泵，可以提供更高的气体流量和更高的真空度。另外，还有离子扩散泵，采用电场力和磁场力将气体离子扩散到高真空区域，可以提供非常高的真空度。

综上所述，扩散泵有多种型号，每种型号都有其特定的功能和优点。选择适合自己应用场合的扩散泵型号是非常重要的。