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扩散泵有几个型号

来源:化工产品网-原创 发布时间:2024-04-30 04:23:51
扩散泵有几个型号

扩散泵是一种常见的真空泵,可用于实验室、制造业、半导体制造等领域。根据其功能和特点,扩散泵可以分为几种不同的型号。

首先,最常见的扩散泵是油扩散泵。这种泵使用油蒸汽作为工作流体,将气体分子扩散到高真空区域。油扩散泵的优点是结构简单、使用寿命长、能够提供较高的真空度,因此广泛应用于各种工业领域。

其次,还有无油扩散泵。这种泵使用液氮或者干燥气体作为工作流体,可以在不使用油的情况下提供较高的真空度。由于无油扩散泵不会产生油蒸汽,因此对于某些对油敏感的应用场合,如半导体制造,无油扩散泵是更加适合的选择。

除了油扩散泵和无油扩散泵之外,还有一些特殊的扩散泵。例如,气体扩散泵是一种使用气体流体的泵,可以提供更高的气体流量和更高的真空度。另外,还有离子扩散泵,采用电场力和磁场力将气体离子扩散到高真空区域,可以提供非常高的真空度。

综上所述,扩散泵有多种型号,每种型号都有其特定的功能和优点。选择适合自己应用场合的扩散泵型号是非常重要的。


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